电子厂机器设备的检测方法多种多样，可以从以下几个方面进行着重讲解：

1. 外观检测：外观检测是对机器设备的外部进行检查，主要目的是检测是否有明显的损坏或缺陷。外观检测可以通过目视观察或者使用特定的测量工具进行，如测量尺、显微镜等。常见的外观检测指标包括设备表面是否平整、是否有明显划痕或变形等。

2. 功能性检测：功能性检测是对机器设备的功能进行评估和验证。通过对设备的各项功能进行测试，可以确保设备能够正常运行并达到预期的效果。功能性检测可以通过模拟实际工作环境来进行，例如模拟负载条件、检测传感器的响应速度等。常见的功能性检测方法包括性能测试、稳定性测试、安全性测试等。

3. 故障诊断：故障诊断是在设备出现故障时进行的检测方法。通过分析设备的工作状况和故障现象，可以确定故障原因并采取相应的修复措施。故障诊断可以借助专门的故障诊断设备或软件进行，也可以通过分析设备的运行日志和错误代码来进行。常见的故障诊断方法包括故障模式识别、故障树分析等。

4. 性能评估：性能评估是对机器设备的性能进行定量评估和比较的方法。通过对设备的关键性能指标进行测试和分析，可以评估设备的性能是否满足需求，并进行不同设备之间的对比。性能评估可以使用特定的测试设备和测试方法进行，例如使用传感器进行数据采集和分析。常见的性能评估指标包括速度、精度、稳定性等。

5. 安全检测：安全检测是对机器设备的安全性能进行评估的方法。通过检测设备是否符合相关的安全标准和规范，可以确保设备在使用过程中不会对人员和环境造成危害。安全检测可以包括电气安全检测、防护装置检测、紧急停机装置检测等。常见的安全检测方法包括电气测试、电磁辐射检测、机械阻力测试等。

总而言之，电子厂机器设备的检测方法包括外观检测、功能性检测、故障诊断、性能评估和安全检测等多个方面。通过综合运用这些方法，可以全面评估机器设备的质量和性能，确保其在生产过程中的正常运行和安全性。